高純氯氣在微電子工業中的應用

　　微電子工業的半導體器件和大規模集成電路的可靠性，在很大程度上取決于半導體表面的熱氧化、等離子蝕刻、晶體生長等技術，而這些工藝過程則需使用高純氯氣，氯氣質量的好壞會直接影響電子元器件的質量。

　　二氧化硅中的Na*是造成硅平面元件和MOS器件性能不穩定的主要原因。若在干氧化時摻入適量的高純氯氣，就能有效地消除Na，從而大大改善MOS器件的電性能。用氯氣進行二氧化硅的熱氧化和蝕刻是美國材料檢驗學會標準中規定的方法。

　　洛陽華普氣體科技有限公司作為地區專 業的高純氯氣氣體產品研發供應機構，公司生產的各種不同類型的高純氦氣、高純氧氣、高純笑氣等產品不僅質量上乘，而且產品純度高，各種不同純度類型的產品都有，在實際的工業生產領域中有著廣泛的應用，深受廣大需求廠家的好評，值得信賴，歡迎前來選購。